比亚迪请求器件制备智商、开导及驾御专利, 有用改善多层外延层电阻率散播不均匀劣势
2025-04-22金融界2025年4月21日音问，国度学问产权局信息走漏，比亚迪股份有限公司请求一项名为“器件制备智商、开导及驾御”的专利，公开号CN119843358A，请求日历为2024年11月。 专利节录走漏，本请求提供一种器件制备智商、开导及驾御，触及半导体材料制备技巧。其中，器件包括衬底和至少一个外延层；该智商包括：在对响应器内的衬底或第x层外延层进行外延淀积之前，向响应器内通入掺杂源；在掺杂源的通入时长到达预设时长后，对衬底或第x层外延层进行外延淀积，以获得位于衬底或第x层外延层名义的外延层。通过本
